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本発明に係るハンドリング装置は、上記のいずれかのハンドリングユニットと、該ハンドリングユニットの位置及び姿勢を定めるユニット駆動系と、前記シリンダ構造内に流体を供給する流体供給手段と、前記ユニット駆動系及び前記流体供給手段を制御する制御部と、を具備する。ここで、前記シリンダ構造内の前記作動体の軸線方向の位置を検出する作動体位置検出手段をさらに具備することが好ましい。また、本発明において、前記コレットの軸線方向の位置を検出するコレット位置検出手段をさらに具備することが好ましい。さらに、本発明において、複数の前記フィンガー部若しくは前記弾性変形部の振動、歪、変位などの個々の変位態様或いは変位態様の差若しくは比を検出する把持態様検出手段をさらに具備することが好ましい。また、本発明において、前記フィンガー部によって把持された把持対象物の物理量を検出する把持対象物検出手段をさらに具備することが好ましい。この把持対象物検出手段は、例えば、前記フィンガー部に設けられた、熱電対、導電センサ、振動センサなどの各種検出器で構成できる。
ハウジング１２は、筒状（図示例では円筒状）の本体１２ａと、この本体１２ａの軸線方向基端側に取り付けられた基端部１２ｂと、本体１２ａの軸線方向先端側に取り付けられた先端部１２ｃとを有する。ハウジング１２の内部にはシリンダ構造１２ｓが設けられ、このシリンダ構造１２ｓの内部に連通する流体供給口１２ｐが上記基端部１２ｂに形成される。図示例では、シリンダ構造１２ｓは、コレット１１の基端部１１ａの外周側から軸線方向基端側に向かう範囲に形成されている。本体１２ａの内面上には、軸線方向先端側から軸線方向基端側に向かうときに内形寸法（図示例では内径）が増大する段差構造である内側段部１２ｅ（第１の段部）が形成される。この内側段部１２ｅは、上記シリンダ構造１２ｓの軸線１０ｘに沿った内面部分（基端側内面部分）と、後述する作動体１３の駆動部１３ｃを背後から支持する支持部１２ｋ（先端側内面部分）との間に形成される。上記内側段部１２ｅよりもさらに軸線方向先端側において、ハウジング１２には、内側へ突出する規制ピン１７が取り付けられている。
１０…ハンドリングユニット、１０ｘ…軸線、１１…コレット、１１ａ…基準部、１１ｂ…弾性変形部、１１ｃ…フィンガー部、１１ｄ…係止段部、１１ｓ…スリット、１１ｇ…把持面、１１ｐ…規制溝、１２…ハウジング、１２ａ…本体、１２ｂ…基端部、１２ｃ…先端部、１２ｄ…支持部、１２ｅ…内側段部、１２ｋ…支持部、１２ｐ…流体供給口、１２ｑ…通気口、１２ｏ…開口部、１２ｓ…シリンダ構造、１３…作動体、１３ａ…軸孔、１３ｂ…支持面部、１３ｃ…駆動部、１３ｄ…受圧部、１３ｅ…外側段部、１３ｋ…被支持部、１３ｐ…規制溝、１３ｓ…シリンダ摺接部、１３ｔ…通気経路、１４…作動ばね、１５…保持ばね、１６…内周側規制ピン、１７…外周側規制ピン、１００…ハンドリング装置、１０１…制御部、Ｓ１…作動体位置検出器、Ｓ２…コレット位置検出器、Ｓ３～Ｓ５…把持態様検出器、Ｓ６…把持対象物検出器、Ｍ１，Ｍ２，・・・，Ｍｎ…動作部（ユニット駆動系含む）
前記筒体と前記軸体とを非回転時に同軸状態に保持するように前記筒体と前記軸体との間に介装された環状弾性体と、
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図５には、第４実施形態のハンドリングユニット４０の縦断面図（ａ）及び背面図（ｂ）を示す。この第４実施形態では、第１実施形態と同様のコレット４１、ハウジング４２及び作動体４３を備え、第１実施形態と同様のコネクタ４８を介して流体供給口４２ｐから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第１～第３実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、作動体４３の受圧部４３ｄの軸線方向の位置を検出する近接センサなどからなる位置検出器４９を備えている点で第１実施形態と異なる。この位置検出器４９は、図示例では、ハウジング４２の基端部から支持部４２ｄを貫通してシリンダ構造４２ｓの内部に配置された検出部４９ｓを備える。なお、この位置検出器４９は、コレット４１のフィンガー部４１ｃが把持状態と非把持状態のいずれにあるかを判別できる程度に、作動体４３の軸線方向の位置を検出できるものであればよい。ただし、位置検出器４９を、作動体４３のシリンダ構造４２ｓ内の位置を詳細に検出できるセンサ機能を備えたものとすることにより、さらに詳細な状況を検知でき、後述する制御部の制御下において、さらに詳細な制御を行うことが可能になる。例えば、作動体４３の非把持状態から把持状態に移行したときの軸線方向のストロークを検出することにより、複数のフィンガー部４１ｃによって把持された把持対象物の把持寸法（把持径など）を推定することができる。
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本発明に係る第１実施形態のハンドリングユニットの縦断面図（図２のＸ－Ｘ線に沿った断面図）である。 第１実施形態のハンドリングユニットの正面図である。 第２実施形態のハンドリングユニットの縦断面図（ａ）及び背面図（ｂ）である。 第３実施形態のハンドリングユニットの縦断面図である。 第４実施形態のハンドリングユニットの縦断面図（ａ）及び背面図（ｂ）である。 第５実施形態のハンドリングユニットの縦断面図（ａ）、平面図（ｂ）及び正面図（ｃ）である。 第６実施形態のハンドリングユニットの正面図（ａ）及び縦断面図（ｂ）である。 第７実施形態のハンドリングユニットの正面図（ａ）及び縦断面図（ｂ）である。 ハンドリングユニットを備えたハンドリング装置の概略構成を示すブロック図である。 把持対象物に対するハンドリングユニットの把持作動時の様子を示す説明図である。 次に、添付図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。最初に、図１及び図２を参照して、本発明に係る基本的な構成を有する第１実施形態の構成について説明する。本実施形態のハンドリングユニット１０は、コレット１１と、このコレット１１を収容するハウジング１２と、ハウジング１２の内部においてコレット１１に作用する作動体１３とを具備する。
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この発明によれば、小型化や軽量化を図ることが容易であるとともに、把持精度や繰り返し精度を確保できるハンドリングユニットを提供することができる。また、ハンドリング装置において、コレットの把持特性に適した良好な作動状態を実現できる。
また、本実施形態では、内周側規制ピン１６及び外周側規制ピン１７によって、コレット１１及び作動体１３がハウジング１２に対して回転方向に規制されるので、複数のフィンガー部１１ｃの把持面１１ｇによって把持可能な把持対象物に対する把持形状を、円形断面だけでなく、角形断面や楕円断面などの任意に設定することができる。なお、ハンドリングユニット１０の回転姿勢を把持対象物の姿勢に合わせることは、後述するハンドリング装置の制御部１００によるユニット駆動系の制御によってなされる。
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